加工方法

可加工材料

尺寸精度 /mm

（平均 / 最高）

表面粗糙度 Ra/μm

（平均 / 最高）

主要适用范围

电火花加工

任何导电的金属材料，如硬质合金、不锈钢、淬火钢、钛合金

0.03/0.003

10/0.04

从数微米的孔、槽到数米的超大型模具、工件等，如圆孔、方孔、异形孔、微孔、弯孔、深孔及各种模具；还可以刻字、表面强化、涂覆加工

电火花线

切割加工

0.02/0.002

5/0.32

切割各种模具及零件，各种样板等；也常用于钼、钨、半导体材料或贵重金属的切割

电解加工

0.1/0.01

1.25/0.16

从细小零件到上吨重的超大型工件及模具，如仪表微型轴、蜗轮叶片、炮管膛线等

电解磨削

0.02/0.001

1.25/0.04

硬质合金等难加工材料的磨削以及超精光整研磨、珩磨

超声波加工

任何脆性材料

0.03/0.005

0.63/0.16

加工、切割脆硬材料，如玻璃、石英、宝石、金刚石、半导体等

激光加工

任何材料

0.01/0.001

10/1.25

精密加工小孔、窄缝及成形加工、蚀刻；还可焊接、热处理

电子束加工

0.01/0.001

10/1.25

在各种难加工材料上打微孔、切缝、蚀刻、焊接等，常用于中、大规模集成电路微电子器件

离子束加工

/0.01

/0.01

对零件表面进行超精密加工、超微量加工、抛光、蚀刻、镀覆等